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錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng)

【概要描述】錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng)
該系統(tǒng)由氦制冷機、氦壓縮機、水冷機、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機支架、樣品臺、樣品卡等附件共同構(gòu)成。

型號: 點擊量:164 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家 更新日期:2024-10-11
產(chǎn)品詳情
品牌錦正茂價格區(qū)間10萬-30萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子,航天,電氣

一、概述:

系統(tǒng)組成:

該系統(tǒng)由氦制冷機、氦壓縮機、水冷機、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機支架、樣品臺、樣品卡等附件共同構(gòu)成。錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng) 

產(chǎn)品特點:

1.制冷量:一級制冷7W@45K,二級制冷1.0W@4K,所需電為380V,50Hz。

2.工作壓力:<2×10-4Pa;正常生產(chǎn)時,會經(jīng)過氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏,真空度可以達(dá)到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據(jù)泵的極限真空而定。

3.溫度監(jiān)控:樣品臺處設(shè)置一處溫度測量點,監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測溫精度±0.01K。

4.樣品降溫和升溫時間:制冷至4K的時間小于2.2h(腔室加大后會延長制冷時間),制冷關(guān)機后在真空下恢復(fù)到常溫的時間小于3h,該裝置采用無液氦閉循環(huán)制冷機制冷,制冷量為4K@1.0W,無負(fù)載是降溫到70K所需時間為60min,當(dāng)安裝上負(fù)載后,考慮到負(fù)載以及相關(guān)支撐裝置的冷卻,制冷時間會相應(yīng)的加長,但是依據(jù)經(jīng)驗,該降溫時間大約在1.2h,滿足實驗要求。

5.集成控制系統(tǒng):控制真空系統(tǒng)、制冷機的運行及安全反饋功能。可設(shè)置和顯示工作目標(biāo)參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài),具備反饋安全控制功能。錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng) 

技術(shù)指標(biāo):

震動量:<10nm

變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15℃-零上51℃)

測溫精度:0.01℃

真 空 度:10-4pa  

光學(xué)窗口:2只(可定制)

窗口材料:熔融石英

輸出電極:8根

二、操作流程

1:將按照所需要做的實驗進(jìn)行安裝相應(yīng)的卡具。安裝完成后按照圖紙將系統(tǒng)組件完畢。

2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10-4Pa,關(guān)閉擋板閥移除波紋管(若實驗時不礙事可以不進(jìn)行拆除);

3:連接控溫儀,開啟壓縮機,對系統(tǒng)內(nèi)的進(jìn)行降溫,降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度,以及冷頭處的溫度。

4:測試完成后,關(guān)閉壓縮機,等待系統(tǒng)自動升溫。

熱仿真分析

在降溫至4K時,制冷機的功率為1.2W,此時對整個所處環(huán)境進(jìn)行熱仿真分析,具體分析結(jié)果如下圖。

錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng)

錦正茂科技10nm級4K液氦極低溫系統(tǒng)


根據(jù)熱仿真結(jié)果可知,在4.2K時,溫度均勻一致。

   更多指標(biāo):詳詢錦正茂科技



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北京錦正茂科技有限公司

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