真空環(huán)境是很多精密設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的前提條件，由于目前自然真空的利用十分困難，因此一般通過真空泵獲取真空環(huán)境。用來獲得、改善、維持真空的裝置稱為真空泵。一般來說，為了獲得高真空、超高真空及ji高真空，有時還要采用多臺真空泵構(gòu)成機(jī)組來完成抽氣任務(wù)。因此，了解各種真空泵的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)等，對于正確選擇經(jīng)濟(jì)適用的真空泵是非常重要的。

zui常用的真空泵就是機(jī)械泵，它通過轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，將空氣從吸氣口吸入，然后從出氣口排出。機(jī)械泵能夠達(dá)到的真空度大概為1Pa。但是這樣的真空度還遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到很多物理實(shí)驗(yàn)的要求，所以更高要求的真空環(huán)境就需要用到渦輪分子泵或磁懸浮分子泵來獲得。渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。由于渦輪分子泵需要在粗真空下才能正常工作，一般利用機(jī)械泵作為其前級泵。分子泵進(jìn)入正常轉(zhuǎn)速后利用烘烤的手段可得到1E-8Pa的極限壓力。

分子泵的高轉(zhuǎn)速也使得其十分“脆弱"，一?；覊m甚至氣體本身都會對運(yùn)轉(zhuǎn)中的葉片造成巨大的傷害。并且只要分子泵在啟動狀態(tài)，前級機(jī)械泵就需要一直維持運(yùn)轉(zhuǎn)。啟動和關(guān)閉都要嚴(yán)格遵循程序，否則就可能造成“機(jī)毀泵亡"。