真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體設(shè)計(jì)制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
1、根據(jù)應(yīng)用需求選擇腔體形狀。幾種代表性的真空腔體包括垂直真空腔體、水平真空腔體、立方真空腔體和球形真空腔體。
2、根據(jù)獲得真空度選擇腔體材質(zhì)。鈦用于ji高真空;鋁用于超高真空;不銹鋼用于高真空。
3、法蘭:CF法蘭,是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤,適用的真空度最高達(dá)到10-12mbar。KF法蘭,應(yīng)用在真空系統(tǒng)中的一張快卸法蘭,它由以下幾個(gè)元件構(gòu)成:兩個(gè)成對(duì)稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。不需要是用別的東西,只要簡(jiǎn)單地用手?jǐn)Q動(dòng)蝶形螺母就可以松開或壓緊連結(jié)、適用于真空度最高達(dá)到10-8mbar。
4、觀察窗:觀察窗是安裝在真空鼻腔上的一個(gè)窗口零部件,可以通過該窗口傳輸紫外線、可見光及紅外線等各種光波及電磁波。錦正茂科技生產(chǎn)可拆卸觀察窗是在標(biāo)準(zhǔn)法蘭上進(jìn)行加工,可以安裝玻璃片的一種視窗,可以更換不同材質(zhì)的窗片,一般采用石英窗片,也可以選硅硼窗片等其他特殊光學(xué)窗片。
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