錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是專 ﹡的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設計優(yōu)化。
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錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領域。
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磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機械系統(tǒng)，超導電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
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可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
技術指標：
高低溫真空磁場探針臺 | ||||
型號 | T8-EM4 | T8-EM5 | T8-EM7 | |
真空度 | 真空上等高達10-8Pa | |||
腔體材質(zhì) | 無磁不銹鋼或者鋁合金 | |||
磁場范圍 | 2000Gs @50mm | 5000Gs@50mm | 1T@50mm | |
磁場方向 | 水平（可按用戶要求設計成豎直方向的） | |||
配套電源 | 雙極性電源±50A | 雙極性電源±70A | 雙極性電源±90A | |
電源穩(wěn)定性 | 50ppm（可選10ppm） | |||
制冷方式 | 液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機 | |||
溫度范圍 | 5K-325K可選500K | |||
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關 | |||
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀 | |||
溫度傳感器 | 硅二極管/PT100/CernoxTM | |||
傳感器數(shù)量 | 樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個 | |||
樣品臺尺寸（max） | Φ50mm，平整度≤7μm | |||
樣品臺固定方式 | 真空硅脂/彈簧壓片 | |||
樣品臺材質(zhì) | 鍍金無氧銅 | |||
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm | |||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |||
真空腔觀察窗尺寸 | 1inch | 1.5inch | 2inch | |
窗口材料 | 熔融石英（可選K9、氟化鈣等） | |||
探針臂數(shù)量 | 2、4、6、8可選 | |||
探針臂行程 | (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換 | |||
位移精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | |||
接口形式 | 普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等 | |||
探針直徑 | 0.51mm | |||
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm可選 | |||
探針材料 | 鎢/GGB | |||
供電電壓 | AC220V 50Hz/60Hz | AC380V 50Hz/60Hz | ||
注：北京錦正茂科技有限公司接受任何形式的定制，精度高，周期短。
